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一、标准概述
本标准使用等同采用 ISO22309 : 2006 《微束分析 能谱法定量分析》，代替GB/T 17359-1998。
二、适用范围
本标准规定了用安装在扫描电镜( SEM ) 或电子探针( EPMA ) 上的能谱仪对试样上特定点或特定区域进行定量分析的方法。 定量分析是指用质量分数(百分数)表示元素的含量。 正确鉴别试样中所有元素是定量分析中必不可少的组成部分，因此，本标准也包含这方面的内容。 本标准提供了多种能谱法定量分析方法，本标准适用于利用参考物质或“无标样”程序对质量分数高于 1% 的元素进行定量分析。本标准对原子序数大于 10 的元素的分析置信度更高。
本标准也规定了对原子序数小于 11 的轻元素的分析方法。
目 前没有公认的轻元素的准确能谱仪( EDS )定量分析方法，本标准包括几种常用于轻元素分析的 EDS方法。
三、方法概要
当一种高能量电子束作用到一个试样上时会产生 X 射线，这种 X 射线随着试样中不同的化学组成(原子类别)特征而具有不同 的能量(波长)。 每种元素的 X 射线强度与该元素在试样中的含量相关。
如果用测得的这些 X 射线强度与一个适当的参考物质或一组参考物质的 X 射线强度比较并用适当的方法校正，就可得到每一元素的含量。 “无标样”程序也可以提供试样的定量结果, 但要有存储在软件包中的预先测量的参考 X 射线强度或通过理论计算得到的 X 射线强度与之作对比。 这种基于一些假设的程序的测试精度必然比利用参考物质方法的测试精度低。 检测特征 X 射线有两种常见的方法: 波谱法( WDX )、能谱法( EDX )。 本标准所采用的方法是能谱法。利用能谱法分析时，轻元素(原子序数 Z <11 ( Na ) 的元素) 的定量分析更加复杂，本标准讨论了 一些这方面的问题。
附录 A 谱峰的标定
附录 B 峰鉴定/干扰
附录 C 影响测量结果不确定度的因素
附录 D 原子序数小于 11 的元素分析
附录 E 单个实验室及不同实验室之间再现性研究的数据举例
